高质量发展调研行|十年磨一“片” 石家庄高新技术企业普兴电子突破半导体技术难题

2023-07-27 17:11:39 来源:河北新闻网

打印 放大 缩小

十年磨一“片”


(资料图片)

——看石家庄高新技术企业普兴电子如何突破半导体技术难题

近日,河北普兴电子科技股份有限公司工作人员正在装取碳化硅外延片。 河北日报通讯员 张晓峰摄

走进石家庄市鹿泉区河北普兴电子科技股份有限公司,眼前的碳化硅外延片,如同透明的CD唱片,满满的科技范儿。它的作用可不容小觑,如果把制造芯片比作盖房子,这就是房子的框架。

如今,普兴电子的碳化硅外延片产量,位居全国前列。很难想象,就在20多年前,这家企业连擦设备的布都要依赖进口。

2006年,在国内率先量产6英寸硅外延片;

2010年,在国内率先量产8英寸硅外延片;

2014年,自主研发出第一套国产外延炉;

2020年,在国内率先量产6英寸碳化硅外延片;

…………

10多年锲而不舍,普兴电子用事实印证——

关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的,唯一出路就是埋头苦干,自主创新。

一次自主研发的启示——

“创新就是九死一生,保持定力才能攻克难关”

时间转回到2005年。那一年,5英寸硅外延片市场正火,有货就不愁卖。

不缺市场的普兴电子,却斥巨资从国外进口了一台生产6英寸产品的新单片炉设备。当时,企业一年的销售收入只有四五千万元。

一时间,质疑声四起:“卖得好好的,为啥给自己找难题?”“这么贵,收得回成本吗?”

公司总经理陈秉克态度坚决,因为他深知:“没有核心技术,就永远拿不到产业话语权。”

那时,国内6英寸硅外延片的技术瓶颈还未突破,生产技术没有经验可循,只能摸着石头过河。

科研人员埋头苦干几个月,第一批产品终于出来了。然而,就在大家满心欢喜庆祝的时候,问题来了。

“明明出厂检测合格,可到了用户那里,就会出现探测不到的缺陷。”副总经理袁肇耿回忆起来仍然感到痛心。

最严重的一次,发了5000片货,退回来2500片。一气之下,他们把这些不合格产品砸碎,报废处理。

横在普兴电子面前的,是一道道技术难题,如同一座座大山挡住了前进的道路。

那段日子,让陈秉克终生难忘。最难的时候,企业年底利润是负数,他心有不甘:“必须搞出自己的技术!”

自打那时候起,实验室的灯就没熄过。十四五位科研人员,心里都憋着一口气,大家轮流倒班,发起技术攻关。

问题出在哪儿?衬底抛光去除量不够、工艺过程参数设置不准确、损伤层去除不均匀、反应腔处理条件不合理……大家一个个查找,一个个解决。

一次又一次,光做试验的硅外延片,就报废了一万多片。“都是钱啊,一片片砸进去,一点响都听不到。”大家心里没底。

这项技术在国内属于空白,没有人知道要投入多少,也没有人知道要坚持多久。

但没有一个人气馁。

尝试,失败;再尝试,再失败……摸索了一年时间,终于找到新的检测方法,缺陷率控制住了。

2006年,普兴电子终于通过自主研发,在全国率先批量生产出性能稳定的6英寸硅外延片。

核心技术带来了源源不断的订单。“最火的时候,客户带着现金住在厂里等着提货。”袁肇耿笑着说。

“创新就是九死一生。保持定力,才能攻克一个个技术难关。”回望那段经历,袁肇耿深有感触。

一次勇敢突围的成长——

“设备依赖外国,产业发展就会受制于人”

洁净厂房的操作区内,8英寸硅外延片正在外延炉里静静生长。显示屏上灯光闪烁,技术人员认真观察各项技术参数运行情况。

“这套设备,是我们自主研发的。”普兴电子生产部副部长许斌武话语里满是自豪。

2012年,订单直线攀升,普兴电子准备扩大产能。然而,兴冲冲地去国外买设备的工作人员却被绊住了,谈了3个多月都没谈下来。

“卖给我们的是淘汰设备,价格却比先进型号高,还提出先付钱、不保证交付期等不合理条件。”许斌武说。

“设备依赖外国,产业发展就会受制于人。”普兴电子下定决心:“自己研发!”

可是,自主研发设备,谈何容易?这是一个庞大的系统,集机、电、计算机、自动化控制等技术为一体,所涉知识密集、学科众多,硬件、软件要求高。

高精度的旋转系统,一度成为“拦路虎”。“旋转平稳度差之毫厘,硅片从片篮传送到反应室就会发生偏移,生产出的产品就报废了。”袁肇耿说。

光这一个小环节,研发人员就用了近半年时间反复试验。最终,请来编程专家一点点调整参数,终于实现精准稳定旋转。

就这样,一项项工艺反复调整,一个个部件精雕细琢,样机终于在两年后成功问世,实现了国产设备的突破。

没想到,成本下降了一半,但推广却遭遇难题。有人怀疑,不会是样子货吧?也有人对国产设备不信任,说还是用进口的靠谱。

信任,不是说出来的,而是做出来的。他们免费提供样片,做可靠性验证,努力提供比进口品牌更诚挚的服务。

两年以后,袁肇耿明显感到用户对国产设备态度的转变——“从不信任到愿意尝试了”。

“研发的过程,也让我们对设备有了更深刻的理解,便于更好地改进生产工艺。”袁肇耿说,比如改善感应线圈结构,能使生产效率提高15%;改进进气装置,使气场一致性提高10%。

一种创新攻坚的决心——

“不能总是跟跑,要奋力实现并跑、领跑”

来到青山环抱中的普兴电子新外延材料产业基地,一座座高大的白色现代化厂房拔地而起。

“全部达产后,整体产能将扩大三倍,年产值达到30多亿元。”袁肇耿介绍。

如今,普兴电子已成长为国家级专精特新“小巨人”企业,也是河北省第一批县域特色产业集群“领跑者”企业。

这些年来,从第一代到第三代半导体材料,一批批实现“零的突破”的科研成果从这里源源走出。在国内率先稳定量产8英寸硅外延片;率先研制出碳化硅外延片……硅外延及碳化硅外延产品国内市场占有率超25%以上。

不光要突破技术、设备,普兴电子还要“打造”国家标准。目前,该企业正参与制定碳化硅缺陷检测方法等三项国家标准。

不创新不行,创新慢了也不行。袁肇耿总有一种紧迫感:“半导体材料领域,不能总是跟跑,要奋力实现并跑、领跑!”

普兴电子一直在奔跑,每年投入大量资金进行新技术研发,目前正加快研发第四代半导体材料,未来将应用在5G通信、高速轨道交通等领域。

不怕失败,艰苦磨砺。普兴电子10多年来的发展历程,标记出高新技术企业勇攀高峰、不断攻克前沿技术的鲜明足印。(河北日报记者 周洁 张晓超)

关键词:

责任编辑:ERM523

相关阅读

精彩推送

高质量发展调研行|十年磨一“片” 石家庄高新技术企业普兴电子突破半导体技术难题 排列三23190期鱼儿说三预测:组选复式
濡沫江湖成都攻略大全(濡沫江湖成都攻略) 北大:研学团违规预约139人进校收费150万,46名校友被关闭权限
工信部:加强通用人工智能、6G、量子科技等未来产业前瞻布局 2023年《财富》中国500强:国家电网居首
外汇市场最新行情走势展望:美元/加元价格分析:美元/加元小幅下跌 关注美国GDP 国家新闻出版署发布7月国产网络游戏审批信息,共88款游戏获批
国家发展改革委召开制造业民营企业家座谈会 齐齐哈尔市市长致歉:沉痛哀悼,深感自责
文旅部:加大对“黄牛”、第三方平台违规囤票等行为打击力度 十四届全国人大常委会第四次会议7月25日举行
国家发展改革委负责同志持续召开民营企业座谈会 如何做好档案管理工作的几点思考(如何做好档案管理工作)
和田黄玉是否绝矿 生态环境部:今后五年因地制宜、梯次推进美丽中国建设全域覆盖
年内发放国产游戏版号610个 1月份过审游戏上线率不足30% CFTC:当周NYMEX原油期货和期权持仓报告(截止7月18日)
渤海亿吨级油田群全面投产 节能宣传周“节能·减排”从我做起
上半年规上工业利润下降16.8%,降幅逐月收窄,下阶段走势如何 鸭蛋青与青白玉的区别
受贿超1.82亿!杭州市委原书记周江勇一审被判死缓 统计局:2023年1—6月份全国规模以上工业企业利润下降16.8% 降幅持续收窄-更新中
十大地铁公司中4个明确不准喝水 杭州:不会阻拦 天津院前急救服务费医保联网报销
中国邮政储蓄银行商丘市分行聚宣传合力 防洗钱风险 两部门:猴痘密接者需进行21天自我健康监测
禅城区人才一站式服务专区启用 微视频|边境线上的普法课堂
桐城:精准发力“高质量发展” 县域经济“稳中有进” “外贸风向标”华交会重回线下
2023年全省老年友好型社区评选结果发布——宝鸡13个社区榜上有名 生态环境部:加快推动出台《空气质量持续改善行动计划》
乔亚群会见郭军一行 园博小镇单体主体工程全部完工
腾讯互娱张巍:游戏正不断拓展价值创造边界,成为“超级数字场景” 涉及产业园区及多个建设项目,环境部拟深化六项环评改革
传艺科技发布钠离子电池订单公告收关注函:是否利用信披迎合市场热点炒作股价 教育部、中国科协共同实施“科学家(精神)进校园行动”
儿童比武礼物怎么做?逆水寒群侠礼物怎么获得? 2022年全国环保产业营收达到2.22万亿元
买卖房产税费有变?只是政策汇总 福建提升防台风应急响应为Ⅰ级
“研学游”助力旅企 住宿降级、只游不学问题受关注 营增利减!抗艾“药神”前沿生物上半年预亏1.73亿
税务总局率先响应利好!梳理个人购房税费优惠政策集中发布,减免力度有多大 打造高新技术产业发展的主阵地
40+℃成为常态!预计8月全国有4次高温过程 一次性补助!河北这些人可领
红布林报告:包袋成循环时尚交易主品类,服装发展潜力大 火山邑动国际控股(01715.HK)根据配售协议发行1.63亿股
我州扎实推进重点项目建设 大众投资小鹏:用技术实力打开国产电车“反向合资”新篇章
“美丽中英”摄影大赛:呈现中英交往精彩故事 股价跌停,中国长城:分红不及预期或是拖累股价因素之一
卖了!还债!光谷武汉奥特莱斯“转手易主” asha 抖音_asha 502
国家税务总局:今年上半年税务部门助困难企业实现购销超100亿元 宿宛陵书院_关于宿宛陵书院介绍
qdii基金都有哪些 什么是qdii基金 施工材料晒到烫手 机器高温下“罢工” 高温持续作业 保国省干线安全畅通
本周五开始,这些人可以免费游沈阳森林动物园! 科尼赛克 Gemera 以两种形式推出
事发突然!她不幸离世,才28岁 2023年上半年我国造船三大指标全面增长 国际市场份额继续领先
“国家队”下场,大模型“卷”向新纬度 港股午评:恒生科技指数涨2.45% 电影概念、AIGC概念等板块涨幅居前
苏州市市场监督管理局抽查20批次电风扇产品 全部合格 比亚迪仰望在郑州成立销售公司
最新报告:美国6月份通胀仍居高不下 周山荣:80%的茅台镇酒厂,都在技术研发上意淫
在山东开发建设高品质住宅项目 房企可获得容积率奖励 7月12日迎来火星北半球的夏至:火星上夏季凉爽
金种子酒副总杨云大专学历啥学校毕业的?公司高管近日频繁增持 “人民教育家”于漪为《中国教师报》创刊20周年发来寄语
徐大堡核电站3号机组关键设备从俄罗斯起运中国 天降砖头,28岁女子在万达广场公寓楼下被砸中不幸离世!目击者发声
众泰汽车(000980)7月12日10点43分触及涨停板 升级发布!高温橙色预警!
工业软件前景可期(一线调研) 万亩园区全面开建!禅城打造佛山都市工业强心
大行评级丨高盛:首予小鹏汽车买入评级 交付量将在短期内恢复增长势头 “‘暑’你开心,‘佑’你安全”自护教育宣讲活动走进吉林小学
纪录片如何赢得“Z世代”观众的心? 山东推动高品质住宅建设:鼓励采用屋顶外墙结构外平台等立体绿化
智度股份:7月11日融资买入1122.42万元,融资融券余额3.48亿元 虚拟电厂板块表现活跃 机构称虚拟电厂建设有望提速
甘肃“六位一体”护航青少年健康成长 瓜子热量多少?
保罗炮轰勇士:如果剥夺我首发位置,宁愿买断,休想让我打替补 避雷早知道:突发!这家公司实控人被逮捕
祝贺!朱雀二号遥二运载火箭发射成功 苏州市市场监督管理局公布10批次电热水壶/冷热饮水机产品抽查结果
中南文化:7月11日获融资买入707.87万元 马鞍山住房公积金查询官网-马鞍山住房公积金查询官网电话
豪掷80亿元投向光伏产业 华东重机跨界能否成功? 中国汽车产销量同比分别增长9.3%和9.8%
电竞产业的“风口”来了 网络搜索热度大不如前、客流量下降 淄博烧烤“凉了”吗