原标题：中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户
证券时报e公司讯，上海微电子2月7日举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。（半导体行业联盟）
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